A kylareär en kylvattenanordning som kan ge konstant tryck, konstant temperatur och konstant flöde. Det är genom att injicera en lämplig mängd vatten i vattentanken, kyla vattnet genom kylsystemet och använda en pump för att transportera kylvattnet till utrustningen som behöver kylas. Kylvattnet tar bort värmen i utrustningen för att uppnå kyleffekten. Kylvatten tillsätts mellanfrekvensutrustning främst på grund av dess höga frekvens och stora ström. När magnetronsputtermålet används kommer det att generera hög temperatur och deformera pistolen, så en vattenmantel krävs för att kyla pistolen. Magnetronförstoftning kan sägas vara en av de mest framstående prestationerna inom beläggningsteknik. Dess fördelar är god film-substratbindningskraft, hög sputterhastighet, låg substrattemperaturhöjning och god enhetsstabilitet. Kylaren har ett oberoende vattencirkulationssystem och ett oberoende kylsystem, som inte påverkas av den yttre miljön. Tillsammans ger dessa funktioner tillförlitlig temperaturkontroll och högkvalitativa beläggningsresultat för vakuumjonbeläggningsprocessen.
Funktionen och egenskaperna hos kylaren i vakuumjonbeläggningsmaskinen inkluderar:
1. Kyla målet: Målet i vakuumjonbeläggningsmaskinen används för att generera metalljoner, men det kommer att generera mycket värme under beläggningsprocessen. Kylaren kyler snabbt målet genom det cirkulerande kylsystemet för att upprätthålla den normala driftstemperaturen för målet, förhindra att utrustningen överhettas för att orsaka fel eller minska kvaliteten på beläggningen och säkerställa en stabil produktion av joner.
2. Stabilitetskontroll: Denkylarekan stabilt kontrollera utrustningens temperatur för att säkerställa att utrustningen fungerar stabilt inom det normala driftstemperaturintervallet. Detta hjälper till att bibehålla beläggningens konsistens och stabilitet, vilket förbättrar beläggningens konsistens och tillförlitlighet.
3. Högprecisionsjustering: Driftsparametrarna för kylaren kan justeras enligt specifika krav, inklusive kylvattentemperatur, flöde och tryck. Detta gör det möjligt för kylaren att ge exakt temperaturkontroll enligt olika beläggningskrav, vilket säkerställer stabiliteten och hög kvalitet på beläggningsprocessen.
3.Energibesparing: Den högeffektiva kylkapaciteten och exakta kontrollfunktionen hos kylaren hjälper till att minska energiförbrukningen. Genom att effektivt kontrollera temperaturen på utrustningen kan ytterligare energislöseri minskas och energiutnyttjandet kan förbättras.
5. Miljöskyddsprestanda: applicering av kylare i vakuumjonbeläggningsmaskin kan minska den negativa påverkan på miljön. Den använder cirkulerande vatten för kylning, minskar vattenförbrukningen och ger lägre ljud och vibrationer under drift.
6. Miljökontroll: Appliceringen av kylaren i vakuumjonbeläggningsmaskinen kan också kontrollera den omgivande temperaturen och luftfuktigheten för att ge en bra arbetsmiljö. Lämplig omgivningstemperatur och luftfuktighet kan öka graden av vakuum, minska påverkan av föroreningar och gaser och förbättra beläggningens kvalitet.
Sammanfattningsvis kan tillämpningen avkylarei vakuum jonbeläggningsmaskiner täcker många aspekter såsom kylmål, kylsubstrat, kylutrustning och miljökontroll, säkerställa temperaturkontroll av utrustning och arbetsstycken under beläggningsprocessen, förbättra beläggningskvalitet och produktivitet.